强束流离子源

离子注入表面处理是将某种元素的蒸气通入电离室电离后形成正离子，然后将正离子从电离室引出进入高压电场中加速，使其得到很高速度后再打入放在真空靶室中的工件表面的一种离子束加工技术。

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