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电子束蒸发
电子束蒸发(Electron Beam Evaporation)是物理气相沉积的一种形式,其中待蒸发材料被来自带电钨丝的电子束轰击,当电子束撞击目标材料时,它的能量转化为热能,使目标材料达到蒸发的状态,并将其转化为气态,在高真空室中,这些蒸发的原子或分子随后沉积在基板上形成薄膜。
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